真空表及流量计-手机版

更新：2017/2/25 15:41:53 点击：

产品介绍

更多规格参数和详细技术方案请来电咨询（021-59580206/ 15800623059），可根据用户要求另行设计制造；

供气（混气）系统的详细介绍

供气（混气）系统

本供气（混气）系统可用于多种气体单一/混合连续供气系统，尤其方便多种气体的切换混合使用；气体压力和流量数据在同一平面直观可读，操作方便；每一条气体管路均有一个高压截止阀，安全可靠！

本系统广泛用于CVD供气系统，气体保护烧结，气体保护退火等。

主要特点：

1．本配比器适用于低压小流量,多种气体单一/混合连续供气系统。尤其是方便三种气体切换使用，而不会造成大气进入加热炉管。

2．气体压力和流量数据在同一平面直观可读，外形美观、实用，操作简便。

3．每一条气体管路均有一个高压截止阀，安全有保证。

4．显示流量准确，可有效地控制气体消耗量。

5．所有仪表及阀门的连接均采用活接头连接，便于维修拆卸。

技术参数：

气路通道：4（可根据客户需求设计1-8通道）

气路流量控制器采用质量流量计控制：

标准量程（N2）：200，500 SCCM

准确度：±1.5%

线性：±0.5～1.5%

重复精度：±0.2%

响应时间：气特性 1～4 See

电特性 10 See

工作压差范围：0.1～0.5 MPa

最大压力：3 MPa

接口：Φ6,1/4”

显示：4位数字显示

工作环境温度:5~45℃

高纯气体不锈钢管：Φ6外X Φ4内

压力真空表：－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格